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YZ-1300IBS离子束溅射镀膜机
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用途：主要适用于精密薄膜领域（如：激光器、反射镜、滤光片、长/短波通）等精密薄膜的镀制
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YZ-1300IBS离子束溅射镀膜机.png

YZ-1300IBS 离子束溅射镀膜机

真空室内腔尺寸：φ1300mm*H1250mm

真空系统：分子泵+双极旋片泵+罗茨泵+POLYCOLD

靶材系统：多靶位自动旋转

溅射源：双RF源

空载极限真空：8.0x10-5Pa

空载恢复真空：2x10-3Pa ≤10min

设备电源：三相   380V    50HZ

  设备重量：约5T

老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制



YZ-1300IBS离子束溅射镀膜机

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用途：主要适用于精密薄膜领域（如：激光器、反射镜、滤光片、长/短波通）等精密薄膜的镀制
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YZ-2050EBI光学镀膜设备
YZ-700DLC类金刚石沉积设备
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YZ-1300IBS 离子束溅射镀膜机

真空室内腔尺寸：φ1300mm*H1250mm

真空系统：分子泵+双极旋片泵+罗茨泵+POLYCOLD

靶材系统：多靶位自动旋转

溅射源：双RF源

空载极限真空：8.0x10-5Pa

空载恢复真空：2x10-3Pa ≤10min

设备电源：三相   380V    50HZ

  设备重量：约5T

老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制



地址：成都市郫都区现代工业港南片区南北大道769号
售前：13308020865
?售后：13982112949

邮箱：yzkj_vac@163.com

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