真空室内腔尺寸：φ860mm*H400mm

真空系统：分子泵+双极旋片泵

蒸发源：4路独立阻蒸（8V/400A）

工转机构：21个翻转架               （自动调整角度）

空载极限真空：8.0x10^-5Pa

空载恢复真空：2x10^-3Pa ≤10min

离子轰击：0-3KV,0-200mA

 选件：膜厚仪

设备电源：三相   380V    50HZ

设备重量：约1.5T

老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制