



YZ 500-2700 型 光学老黄金城机 | |
真空室内腔尺寸: φ500mm-φ2700mm | 真空系统:扩散泵/分子泵/冷泵+双极旋片泵+罗茨泵+维持泵+POLYCOLD |
晶控:XTC-3S/MXC-3B +六探头/单探头/双探头 | 蒸发源:电子枪+固定阻蒸/旋转阻蒸 |
空载极限真空:8.0x10-5Pa | 恢复真空:2x10-3Pa ≤10min |
加热温度:最高300℃ | 选件:离子源 |
电源:三相 380V 50HZ | |
老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制 | |

YZ 500-2700 型 光学老黄金城机 | |
真空室内腔尺寸: φ500mm-φ2700mm | 真空系统:扩散泵/分子泵/冷泵+双极旋片泵+罗茨泵+维持泵+POLYCOLD |
晶控:XTC-3S/MXC-3B +六探头/单探头/双探头 | 蒸发源:电子枪+固定阻蒸/旋转阻蒸 |
空载极限真空:8.0x10-5Pa | 恢复真空:2x10-3Pa ≤10min |
加热温度:最高300℃ | 选件:离子源 |
电源:三相 380V 50HZ | |
老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制 | |
