友臻科技
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产品详情
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YZ-700MS 磁控溅射镀膜机 |
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|
真空室内腔尺寸：φ700mm*H500mm |
真空系统：分子泵+双极旋片泵 |
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靶材系统：矩靶/圆靶/柱靶 |
溅射源：DC电源/MF电源/RF电源（13.56MHZ） |
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空载极限真空：8.0x10-5Pa |
空载恢复真空：2x10-3Pa ≤10min |
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设备电源：三相 380V 50HZ |
设备重量：约3T |
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老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制 |
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产品详情
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YZ-700MS 磁控溅射镀膜机 |
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真空室内腔尺寸：φ700mm*H500mm |
真空系统：分子泵+双极旋片泵 |
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靶材系统：矩靶/圆靶/柱靶 |
溅射源：DC电源/MF电源/RF电源（13.56MHZ） |
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空载极限真空：8.0x10-5Pa |
空载恢复真空：2x10-3Pa ≤10min |
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设备电源：三相 380V 50HZ |
设备重量：约3T |
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老黄金城机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制 |
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2120天
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